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3D表面轮廓仪7300

3D表面轮廓仪7300

产品详情

  美国ZYGO 3D外表轮廓仪NewView 7300

  NewView 7300外表轮廓仪以其极高的精细度和准确度定性和定量地反映出样品的外表粗糙度、台阶高度、关键部位的尺寸以及样品的描摹。丈量进程精细,高速,非接触,且样品无需特殊处理。在高速扫描状态下纵向丈量规模可以从小于1nm至20000μm,基于ZYGO 专利的扫描技术,无论怎样的外表描摹,放大倍数以及台阶特性,NewView 7300只需一次扫描即可到达0.1nm的纵向分辨率,并取得所有的被测参数,我们还有三坐标检测仪等仪器,请继续关注。

  体系参数:

  ◆原理: 非接触、三维白光扫描干涉仪

  ◆扫描装置: 闭环反馈压电陶瓷,高线性电容传感器,

  ◆视场扩大倍率:高质量分立扩大倍率镜头:0.5×,0.75倍率: ×,1.0×,1.5×,2.0×

  ◆成像扩大: 电动3 位体系成像扩大

  ◆视场:0.03-14mm,跟物镜和扩大倍率有关,运用图像拼接技能可以得到更大规模

  ◆光源: 均匀成像,高效率,特别设计长寿命白光LED物镜座标配:可快速装卸单物镜夹具

  ◆控制 :滤光板托架,视场光阑(辅助聚集)

  ◆丈量阵列:标配640×480 像素;640×480,320×240,160×120 像素,可选更高分辨率992×999

  ◆样件调查: 专用液晶显示屏实时调查

  ◆精细聚集 :电控手动和主动聚集

  ◆Z 轴驱动:直流无刷微步进电机驱动,200mm 行程,0.1μm 精度

  ◆尺寸:157×132×89cm ,NewView:81×58×41cm ,防振台:76X61X61,工作台:85X132X89cm

  ◆重量 :体系重量:约430Kg

  ◆输入电压: 100-240VAC,50/60 Hz

  ◆计算机: 带液晶显示器的高性能DELL 计算机

  ◆软件:ZYGO MetroPro 软件

  ◆物镜座: 可快速装卸单物镜夹具 ,选件:手动6 位塔台;电控 6 位塔台;

  ◆样品台:手动,俯仰(±6°)和XY 平移(±50mm),电动,俯仰(±4°)和XY 平移(±76mm)电动, 俯仰( ± 4 ° )X-Theta (orY-Theta)和XY 平移(±76mm) 三种可选

  ◆纵向扫描:150μm,拓展扫描形式可到20mm,

  ◆纵向分辨率 <0.1nm,横向分辨率 0.36~9.5μm,与所选物镜有关,

  ◆扫描速度 ≤135μm/sec,与所选的CCD 和扫描形式有关

  ◆zui大数据点: 规范307200;可选984064;

  ◆RMS 重复性 <0.01 nm, RMSσ

  ◆台阶丈量 :准确度 ≤ 0.75% ;重复性≤ 0.1% @ 1σ

  ◆测样品特性:各种资料的表面:透明,不透明,镀膜,非镀膜,反射,弱反射

  ◆zui大尺寸: 89×203×203mm(高×宽×长);反射率: 1-百分百


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