影像测量仪是近年来展开较为灵敏的几何量光学检测仪器,它是一种根据光学投影原理,结合现代光电技术和核算机处理技术,完结对试件边际归纳瞄准并完结长度和高度规范测量的三维光学坐标测量仪。该仪器能够高效地检测各种形状杂乱工件的归纳和表面形状规范、视点及方位,特别是精细零部件的微观检测与质量控制,适用于产品研制开发、质量批量检测等范畴。

　　1、结构组成及光学原理特征

　　影像测量仪一般由机械、光学、图像搜集、核算机处理和测量软件等六部分组成,。影像测量仪的光学原理与一般投影仪很类似,差异在于影像前者被测件的归纳影像被CCD传感器接收并由核算机进行图像搜集和处理,后者则直接把影像投射到投影观测屏,归纳对准有操作者的人眼完结,因此导致两者测量精度和自动化程度相差很大,其他还有高度测量的功用。

　　影像测量仪一般具有较大的测量规模,一般配备有(0.7~4.5)的变焦物镜,照明光源除了常见的底光和顶光外,还有环形照明光,适合于底光和顶光都不能有用照明时使用。

　　2、差错原因

　　影像测量仪的测量能够是单轴、二维平面的测量，也能够是三维空间坐标的测量,测量时先对焦,取点,终核算处理。读数来自于标尺即光栅系统,对焦对准依托光学系统,还有一个直接影响测量作用和精度的照明光源,因为,根据影像方法测量的仪器,假如被测件不能被有用正确的照明,则测量的结果明显要违反其实在规范。除前述要素外,环境条件也是限制测量精度不行忽视的要素。根据上述分析,能够归纳出以下几个方面的差错原因:

　　1)光栅计数尺的差错;

　　2)作业台移动时存在的直线度、角摆带来的差错;

　　3)作业台两测量轴笔直度带来的差错;

　　4)显微镜光轴与作业台面不笔直带来的差错;

　　5)测量室温度违反校准要求的参看温度带来的差错;

　　6)光源照明条件的改动带来的对焦和对准差错。

　　在以影像测量工件样品结构的几何规范时,光照明条件的改动将会直接影像被测规范,如线宽、圆直径及其他几何形位公差,因次要确保取到的距离点是产品需求检测的距离,在高精度测量中,这是导致测量不确定度增大的要害要素,应引起足够注重。