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影像测量仪的测量原理及误差剖析
- 2019-11-18-

  影像测量仪是近年来开展较为灵敏的几许量光学检测仪器,它是一种依据光学投影原理,结合现代光电技术和核算机处理技术,完成对试件边际概括瞄准并完成长度和高度标准测量的三维光学坐标测量仪。该仪器可以高效地检测各种形状杂乱工件的概括和表面形状标准、视点及方位,特别是精密零部件的微观检测与质量操控,适用于产品研制开发、品质批量检测等范畴。

  1、影像测量仪的结构组成及光学原理特色

  影像测量仪一般由机械、光学、图画收集、核算机处理和测量软件等六部分组成,。影像测量仪的光学原理与一般投影仪很类似,差异在于影像前者被测件的概括影像被CCD传感器接纳并由核算机进行图画收集和处理,后者则直接把影像投射到投影观测屏,概括对准有操作者的人眼完成,因此导致两者测量精度和自动化程度相差很大,其他还有高度测量的功用。

  影像测量仪一般具有较大的测量规模,一般配备有(0.7~4.5)的变焦物镜,照明光源除了常见的底光和顶光外,还有环形照明光,适合于底光和顶光都不能有用照明时使用。

  2、影像测量仪的误差原因

  影像测量仪的测量可以是单轴、二维平面的测量,也可以是三维空间坐标的测量,测量时先对焦,取点,终核算处理。读数来自于标尺即光栅系统,对焦对准依托光学系统,还有一个直接影响测量效果和精度的照明光源,由于,依据影像办法测量的仪器,假如被测件不能被有用正确的照明,则测量的结果明显要违背其实在标准。除前述要素外,环境条件也是限制测量精度不行忽视的要素。依据上述剖析,可以概括出以下几个方面的误差原因:

  1)光栅计数尺的误差;

  2)工作台移动时存在的直线度、角摆带来的误差;

  3)工作台两测量轴垂直度带来的误差;

  4)显微镜光轴与工作台面不垂直带来的误差;

  5)测量室温度违背校准要求的参阅温度带来的误差;

  6)光源照明条件的改动带来的对焦和对准误差。

  在以影像测量工件样品结构的几许标准时,光照明条件的改动将会直接影像被测标准,如线宽、圆直径及其他几许形位公役,因次要保证取到的距离点是产品需求检测的距离,在高精度测量中,这是导致测量不确定度增大的关键要素,应引起满足注重。

德国WISTH复合式影像测量仪

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