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激光干涉仪GPI XP/D

激光干涉仪GPI XP/D

产品详情

  GPI XP/D激光干涉仪--运用移相干与原理,供给高精度的平面面形,球面面形,曲率半径,样品表面质量,传输波前的测量和分析。GPI XP/D是ZYGO在中国乃至全世界市场占有率较高的一款激光干与仪,广泛应用于科研教育和生产检测中。GPI XP/D主机为Fizeau型干与仪,测量精度高且操作简单,选用精密移相技能和高分辨率CCD接收器件640Х480(可以升级为1024×1024),合作功能强大MetroPro软件可以获得高重复性和高精度的测量成果,其三平板测量重复性优于λ/300,rms重复性优于λ/10,000。并能模仿样品表面面形,并显示明显的,可旋转的3D彩色图画,可选的剖面图以及各种统计数字成果等。同时,针对特别的样品、特别的测量需求,可以为用户规划定制特别的测量系统,结合MetroPro软件,为用户供给完美的技能解决方案并获得满意的测量成果。


  系统:

  ◆测量功用:精细测量各种反射面和光学系统的外表描摹及特性

  ◆测量方法:激光3维相移干涉法

  ◆测量功用:精细测量各种不同反射面或光学面的描摹及特性

  ◆测量光束直径:4″(102 mm)和6″(152 mm)

  ◆装备:水平式,立式向下或立式向上

  ◆光学中心线:4.25″(108 mm)

  ◆对准系统:快速条纹采样系统(QFAS)(双光点定位于十字线)

  ◆扩大规模:6:1(非接连式扩大,低失真)

  ◆调整可视规模:4″:±3°6″:±2°

  ◆光曈调焦规模:-800 mm/+1600 mm,4″孔径

  ◆样件观察:计算机实时显现/单独监视器

  ◆计算机:DELL PC;配有硬盘,光驱,17英寸液晶彩显,可选配打印机

  ◆软件:Microsoft??Windows XP专业版下运行的ZYGO MetroProTM软件

  ◆尺寸(高x宽x长):水平式4″:308 x 694 x 308 mm,水平式6″:308 x 992 x 308 mm,立式:H x 686x686 mm

  激光:

  ◆类型:II级氦-氖激光

  ◆波长:632.8 nm

  ◆通光孔径输出功率:≤1 mw

  ◆光束偏振态:圆偏振,可选线偏振开关

  ◆相干长度:>100 m

  样件特性:

  ◆材质:各种不同的玻璃、超精加工金属、陶和塑料

  ◆预处理:无需特殊处理,非接触、非破坏性测量,在现场环境中操作。

  ◆样件大小(高x宽x长):254 x 203 x 203 mm(带2轴调整架)

  ◆样件分量:≤22.7 Kg(带2轴调整架)

  ◆反射率:0.1%-百分百

  性能参数:

  ◆3平板测量重复性:λ/300(2σ)

  ◆RMS重复性:2λ/10,000(2σ)

  ◆数据采样:640x480像素,8位,可选:1K x 1K像素

  ◆分辨率:>λ/8,000

  ◆条纹分辨率:180条纹

  ◆数据采样时刻:低分辨率(7幅数据图画):93 ms,高分辨率(13幅数据图画):173 ms

  环境要求:

  ◆温度:15°C-30°C(60°F-95°F)

  ◆温度变化率:<1.0°C/15min

  ◆湿度:相对湿度5%-95%,无凝结

  ◆防震:需要阻隔1-120Hz的轰动


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