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激光干涉仪VeriFire

激光干涉仪VeriFire

产品详情

  菲索型激光干涉仪,具有专利的环形光源伪迹消除

  抑制技术,是一种高精度、共光路面形计量干涉仪。ZYGO新一代激光干涉仪系列--VeriFire激光干涉仪,继承了工业标准GPI激光干涉仪系列的一切优点,交融了机械相移技能、革命性的数据收集技能、高性能的光电成像系统、振荡补偿软件、非球面测量技能和波纹抑制技能等,是ZYGO技术的集中体现。Zygo新推出用于在震动环境下测量的DynaFiz干涉仪。

  测长仪系统:

  ◆测量功用:精细测量各种反射面和光学系统的表面面形、精细测量光学系统的传输波前

  ◆测量技能:机械相移干涉测量(PSI)

  ◆校准系统:快速条纹采样系统(QFAS)(双光点定位于十字线)

  ◆测量光束直径:4″(102mm)或6″(152mm)

  ◆对准视场规模FOV:4″:±3°;6″:±2°;

  ◆光学中心线:4.25″(108mm)

  ◆激光光源:大功率稳频氦-氖激光,IIIa级

  ◆波长:633 nm

  ◆频率稳定度:<0.0001 nm

  ◆相干长度:>100m

  ◆成像分辨率:1000 x 1000像素

  ◆帧速:43Hz

  ◆数据收集时刻:302ms

  ◆数据形式:8位

  ◆扩大:电控数显扩大1-5X

  ◆偏振:挨近圆偏振(1.2:1或许更好)

  ◆光曈调焦规模:4″:±2.5m;6″:±5.5m;

  ◆计算机和软件:高性能DELL PC,Windows7,64位,ZYGO专利软件MetroproTM X和MetroproTM 9

  ◆安装构造:水平卧式或垂直立式

  ◆附件:详细参考ZYGO激光干涉仪附件导游文件,OMP-0463

  ◆尺度(长x宽x高):4″:69 x 31 x 34 cm(27.3 x 12.1 x 13.4 in.);6″:92 x 31 x 34cm(36.4 x 12.1 x 13.4 in.)

  性能参数:

  ◆RMS重复性:<0.06 nm,λ/10,000(2σ)

  ◆RMS波前重复性:<0.35 nm,λ/1800(mean+2σ)

  ◆像素峰值误差:<0.5 nm,λ/1200(99.5th%)

  工作环境:

  ◆温度:15°C-30°C(59°F-86°F)

  ◆温度改变率:<1.0°C/15min

  ◆湿度:相对湿度5%-95%,无凝结

  ◆隔振:机械移相测量形式推荐运用被迫隔振系统。

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